- Instructor: Croitoru Gabriel
Instalația Nano RF PC-c are o construcție unitară ce asigură toate funcțiile echipamentului, cu respectarea normelor de protecție la gazele corozive, cușca Faraday pentru generatorul de frecvență industrială, înveliș protector și filtrare gaze. Instalația este prevăzută cu 2 canale pentru gaz: rezistente la gaze corozive de tip CF4, SF6 (din oțel inoxidabil); canale controlate prin MFC (Mass-Flow-Controllers) din calculator. Echipamentul poate folosi pentru corodare gaze ca: O2, N2, Ar, CF4, SF6, aer, sau orice combinație între aceste gaze.
Parametrii de bază controlați sunt: presiunea de bază; timpul de pompare; debitul prin MFC; puterea generatorului de radio frecvență; timpul de operare; timpul de ventilare; temperatura; alarmă în caz de deschidere ușă în timpul procesului; afișarea erorilor.
Camera de reacție:
- recipient din inox;
- volumul camerei 24 litri;
- ușa din aluminiu cu fereastră din cuarț;
- electrod special pentru RIE (Reactive Ion Etching) cu dus inclus.
Generator de radiofrecvență:
- frecvența fixă de 13,56 MHz.;
- putere reglabilă manual între 0 și 300 W (cu precizie de ± 1 W);
- interfața cu PC pentru reglarea automată a puterii;
- afișajul puterii generate și a frecvenței de lucru;
- protecție la deschiderea ușii în timpul procesului;
Dimensiunea maximă a probei este de 200 x 400 x 200 mm
Aplicaţii:
- curățirea de suprafețe înainte de procesarea acestora;
- activarea de suprafețe;
- corodarea de suprafețe;
- tratarea suprafețelor.
Ca arii de aplicație se pot enumera cercetări în: REM, TEM, arheologie, electronică și microelectronică, elastomeri, tehnologie medicală, semiconductori, senzori, etc.
