- Instructor: Croitoru Gabriel
Microscopul electronic cu baleiaj (SEM) SU-70 (producător Hitachi, Japonia) este un echipament de cercetare de mare sensibilitate, cu emisie în câmp, și se bazează pe o sursă de electroni de tip Schottky. Echipamentul cuprinde mai multe module necesare analizelor de suprafaţă a materialelor; pentru procesarea nanolitografică a materialelor (EBL), pentru spectrometrie cu dispersie după energie (EDS) şi pentru spectrometrie după lungimea de undă (WDS). Toate aceste module sunt ataşate întregului echipament. Tensiunea de accelerare poate varia de la 0,1 kV la 30 kV. Domeniul de mărire al SEM este de la 30X-800.000X, iar rezoluția la tensiunea de accelerare de 15 KV este de 1 nm. Spectrometrul EDS atașat permite analiza calitativă și cantitativă (de la Be (Z=4) la Pu (Z=94)) de pe punct, dreptunghi, cerc sau zonă la libera alegere, analiza de linie și tip grilă, cartografiere de raze X, soluții pentru suprapunerea de peak-uri. Spectrometrul WDS atașat permite analiza calitativă și cantitativă (de la B (Z=5) la Pu (Z=94)). Domeniul de aplicabilitate al SEM (cuplat cu EDS, WDS și EBL) este unul vast: caracterizarea de micro și nanomateriale, analiza calitativă și cantitativă a probelor, litografia cu fascicul de electroni și crearea de “lab-on-chip” etc.
Aplicații:
- imagini de morfologie a suprafețelor (electroni secundari) – SEM ;
- imagini de topografie a suprafețelor și contrast compozițional (electroni secundari și retroîmprăștiați) – SEM+BSE;
- analiza compozițională și distribuția elementelor pe suprafața probelor – EDS+WDS.
